1200 ℃ فراغ أنبوب فرن البلازما المحسن LPCVD مع مضخة فراغ

1200 Furn فرن LPCVD المحسن بالبلازما مع مضخة تفريغ
 
مقدمة ذكية LPCVD:
PECVD system is designed to decrease the reaction temperature of traditional CVD. تم تصميم نظام PECVD لتقليل درجة حرارة تفاعل CVD التقليدي. It installed RF induction equipment in front of traditional CVD to ionize reacting gas, so the plasma is generated. قامت بتركيب معدات الحث RF أمام CVD التقليدية لتأين غاز التفاعل ، وبالتالي يتم إنتاج البلازما. Plasma's high activity is Reaction is accelerated due to the high activity of plasma. نشاط البلازما العالي هو رد الفعل المتسارع بسبب النشاط العالي للبلازما. So, this system is called PECVD. لذلك ، يسمى هذا النظام PECVD.
This model is the newest product, it synthesized the advantages of most tube PECVD systems, and added a pre-heating zone in the front of the PECVD system. هذا النموذج هو أحدث منتج ، حيث قام بتجميع مزايا معظم أنظمة PECVD الأنبوبية ، وأضاف منطقة تسخين مسبق في مقدمة نظام PECVD. Tests showed that the deposition speed is quicker, the film quality is better, holes are less, and won't crack. أظهرت الاختبارات أن سرعة الترسيب أسرع ، وجودة الفيلم أفضل ، والثقوب أقل ، ولن تتكسر. AISO fully automatic intelligent control system is independently designed by our company, it is more convenient to operate and its function is more powerful. تم تصميم نظام التحكم الذكي الأوتوماتيكي بالكامل AISO بشكل مستقل من قبل شركتنا ، وهو أكثر ملاءمة للعمل ووظيفته أكثر قوة.
Wide application range: metal film, ceramic film, composite film, the continuous growth of various films. نطاق تطبيق واسع: فيلم معدني ، فيلم خزفي ، فيلم مركب ، النمو المستمر للأفلام المختلفة. Easy to increase function, can expand plasma cleaning etch and other functions من السهل زيادة الوظيفة ، يمكن توسيع حفر تنظيف البلازما وغيرها من الوظائف
 
 
الميزة الأساسية:

• ارتفاع معدل ترسب الفيلم: تقنية التوهج RF ، مما يزيد بشكل كبير من معدل ترسب الفيلم ، يمكن أن يصل معدل الترسيب إلى 10Å / S
   
• تجانس عالي للمنطقة: تجعل تقنية التغذية اللاسلكية المتقدمة متعددة النقاط ، وتوزيع مسار الغاز الخاص ، وتكنولوجيا التدفئة ، وما إلى ذلك ، يصل مؤشر توحيد الفيلم إلى 8٪
   
• الاتساق العالي: باستخدام مفهوم التصميم المتقدم لصناعة أشباه الموصلات ، يكون الانحراف بين ركائز ترسيب واحد أقل من 2 ٪
   
• استقرار عالي للعملية: تضمن المعدات عالية الاستقرار عملية مستمرة ومستقرة

 
قطع الغيار القياسية:

• توصيل أنبوب 4 قطع
• أنبوب الفرن 1 قطعة
• مضخة فراغ 1 قطعة
• شفة ختم فراغ مجموعتين
• مقياس فراغ 1 قطعة
• توصيل الغاز ومضخة التفريغ
• معدات البلازما RF

 
قطع الغيار الاختيارية:
 

• شفة الإفراج السريع ، شفة ثلاثية
• 7 بوصة عالية الدقة تعمل باللمس

 
 
 
مختبر PECVD انقسام أنبوب الفرن المواصفات القياسية:
 

 
لماذا فرن الأنبوب المقسم PECVD من Brother's Lab؟

• الشركة المصنعة مع خبرة 10+ سنوات
• أفضل جودة
• تصميم حسب الطلب
• العمال ذوي الخبرة
• مصنع كبير

يختارنا العملاء من أكثر من 30 دولة

• راضية جيقدم الزبائن دليلا على أووr الالتزام بالتصميم الممتاز والجودة وكفاءة التكلفة.

أفضل خدمة ، استجابة سريعة

• تصميم مجاني لفرن خاص
• دعم فني مجاني مدى الحياة
• اختبار عينة مجانية

 
إذا كنت مهتما لدينا 1200 Furn فرن LPCVD المحسن بالبلازما مع مضخة تفريغ، اتصل بنا الآن للحصول على عرض أسعار!