مكان المنشأ: | الصين |
اسم العلامة التجارية: | Brother Furnace |
إصدار الشهادات: | CE |
رقم الموديل: | BR-PECVD |
الحد الأدنى لكمية: | 1 مجموعة |
---|---|
الأسعار: | Negotiation |
تفاصيل التغليف: | صندوق خشبي قوي للشحن العالمي |
وقت التسليم: | 7-21 أيام عمل |
شروط الدفع: | L/C, T/T, ويسترن يونيون |
القدرة على العرض: | 200 مجموعات شهريا |
أقصى درجة حرارة: | 1200 ℃ | فراغ طبيعي: | -0.1Mpa |
---|---|---|---|
ماكس فراغ: | مضخة جزيئية التكوين ، فراغ 7x10-4 باسكال (اختياري) | شفة: | 304 الفولاذ المقاوم للصدأ شفة الختم |
حماية من الحرارة الزائدة: | إيقاف التشغيل التلقائي عندما تتجاوز درجة الحرارة القيمة المحددة المسموح بها | حماية سلامة: | يتم إيقاف التشغيل تلقائيًا عند تسرب جسم الفرن |
هيكل الفرن: | مروحة تبريد مزدوجة فولاذية مزدوجة الطبقة ، درجة حرارة السطح أقل من 50 ℃ | معدل التدفئة القصوى: | 20 درجة مئوية / دقيقة |
دقة درجة الحرارة: | ± 1 ℃ | توحيد درجة الحرارة: | ± 5 ℃ |
التحكم في درجة الحرارة: | 50 شريحة قابلة للبرمجة والتحكم الآلي | أنبوب الفرن: | أنبوب كوارتز |
تطبيق: | PECVD | ||
تسليط الضوء: | فرن الأنبوب الدوار,فرن أنبوب الكوارتز |
1200C Max. 1200C ماكس. Lab PECVD Tube Furnace with Gas Delivery & Vacuum Pump مختبر أنبوب PECVD مع تسليم الغاز ومضخة فراغ
مقدمة PECVD الذكية:
PECVD system is designed to decrease reaction temperature of traditional CVD. تم تصميم نظام PECVD لتقليل درجة حرارة تفاعل CVD التقليدي. It installed RF induction equipment in front of traditional CVD to ionize reacting gas, so plasma is generated. قامت بتركيب معدات حث RF أمام CVD التقليدي لتأين غاز التفاعل ، لذلك يتم إنتاج البلازما. Plasma's high activity is Reaction is accelerated due to the high activity of plasma. نشاط البلازما العالي هو رد الفعل المتسارع بسبب النشاط العالي للبلازما. So, this system is called PECVD. لذلك ، يسمى هذا النظام PECVD.
This model is the newest product, it synthesized the advantages of most tube PECVD system, and added pre-heating zone in the front of PECVD system. هذا النموذج هو أحدث منتج ، حيث قام بتجميع مزايا معظم نظام PECVD الأنبوبي ، وأضاف منطقة التسخين المسبق في مقدمة نظام PECVD. Tests showed that the deposition speed is quicker, film quality is better, holes is less, and won't crack. أظهرت الاختبارات أن سرعة الترسيب أسرع ، وجودة الفيلم أفضل ، والثقوب أقل ، ولن تتكسر. AISO fully automatic intelligent control system is independently designed by our company, it is more convenient to operate and its function is more powerful. تم تصميم نظام التحكم الذكي الأوتوماتيكي بالكامل AISO بشكل مستقل من قبل شركتنا ، وهو أكثر ملاءمة للعمل ووظيفته أكثر قوة.
نطاق تطبيق واسع: فيلم معدني ، فيلم خزفي ، فيلم مركب ، نمو مستمر للأفلام المختلفة.سهل لزيادة الوظيفة ، يمكن توسيع حفر تنظيف البلازما ووظائف أخرى
الميزة الأساسية:
قطع الغيار القياسية:
قطع الغيار الاختيارية:
1200 ℃ المواصفات القياسية لفرن الأنبوب PECVD:
1. نظام التدفئة | ||
درجة الحرارة القصوى | 1200 ℃ (ساعة واحدة) | |
درجة حرارة العمل | ≤1100 ℃ | |
حجم الغرفة | Φ100 * 1650mm (أنبوب diamater قابل للتخصيص) | |
مواد الغرفة | لوح ألياف ألومينا عالي النقاء | |
المزدوجات الحرارية | نوع K | |
درجة حرارة معتدلة | ± 1 ℃ | |
التحكم في درجة الحرارة |
● 50 قطعة قابلة للبرمجة للتحكم الدقيق في معدل التسخين ومعدل التبريد ووقت البقاء. ● المدمج في وظيفة ضبط PID السيارات مع ارتفاع درجة الحرارة وكسر الحماية الحرارية المكسورة. ● نظام التحكم الآلي PLC بواسطة جهاز تحكم PC داخل. ● يمكن التحكم في نظام التحكم في درجة الحرارة ، ونظام انزلاق (الوقت والمسافة) عن طريق البرنامج. |
|
طول التسخين | 440 مم | |
طول تسخين ثابت | 200 ملم | |
عنصر التسخين | سلك المقاومة | |
مزود الطاقة | مرحلة واحدة ، 220 فولت ، 50 هرتز | |
القوة المصنفة | 9 كيلو واط | |
2. مصدر البلازما RF | ||
تردد RF | 13.56 ميجاهرتز ± 0.005٪ | |
انتاج الطاقة | 500 واط | |
تعكس قوة ماكس | 500 واط | |
واجهة خرج RF | 50 Ω ، N- نوع ، أنثى | |
استقرار الطاقة | ± 0.1٪ | |
مكون توافقي | ≤-50 ديسيبل | |
التيار الكهربائي / التردد | مرحلة واحدة AC220V 50 / 60HZ | |
الكفاءة الكاملة | > = 70٪ | |
عامل القوى | > = 90٪ | |
طريقة التبريد | الهواء القسري | |
3. نظام التحكم بثلاثة مقاييس كتلة تدفق دقيقة | ||
البعد الخارجي | 600x600x650 مم | |
نوع الموصل | Swagelok SS المشترك | |
النطاق القياسي (N2) | 0 ~ 100sccm أو 0 ~ 200sccm أو قابلة للتخصيص | |
صحة | ± 1.5٪ | |
خطي | ± 0.5 ~ 1.5٪ | |
التكرار | ± 0.2٪ | |
وقت الاستجابة |
خاصية الغاز: 1 ~ 4 ثانية ؛ |
|
نطاق الضغط | 0.1 ~ 0.5 ميجا باسكال | |
أقصى ضغط | 3MPa | |
واجهه المستخدم | Φ6،1 / 4 " | |
عرض | 4 أرقام عرض | |
درجة الحرارة المحيطة | 5 ~ 45 غاز عالي النقاء | |
مقياس الضغط | -0.1 ~ 0.15 ميجا باسكال ، 0.01 ميجا باسكال / وحدة | |
صمام التوقف | Φ6 | |
أنبوب SS البولندي | Φ6 | |
وشملت نظام فراغ منخفض |
لماذا فرن أنبوب PECVD من Brother 1200؟
يختارنا العملاء من أكثر من 30 دولة
أفضل خدمة ، استجابة سريعة
إذا كنت مهتما لدينا 1200C Max. 1200C ماكس. Lab PECVD Tube Furnace with Gas Delivery & Vacuum Pump مختبر أنبوب PECVD مع تسليم الغاز ومضخة فراغه، اتصل بنا الآن للحصول على عرض أسعار!
اتصل شخص: li
الهاتف :: +8613526693072