الهاتف ::
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

     نحن السيطرة على الحرارة! | 200 ~ 2200

منزل المنتجاتمختبر أنبوب الفرن

1200 ℃ فراغ أنبوب فرن البلازما المحسن LPCVD مع مضخة فراغ

1200 ℃ فراغ أنبوب فرن البلازما المحسن LPCVD مع مضخة فراغ

  • 1200 ℃ فراغ أنبوب فرن البلازما المحسن LPCVD مع مضخة فراغ
1200 ℃ فراغ أنبوب فرن البلازما المحسن LPCVD مع مضخة فراغ
تفاصيل المنتج:
مكان المنشأ: الصين
اسم العلامة التجارية: Brother Furnace
إصدار الشهادات: CE
رقم الموديل: BR-PECVD
شروط الدفع والشحن:
الحد الأدنى لكمية: 1 مجموعة
الأسعار: Negotiation
تفاصيل التغليف: صندوق خشبي قوي للشحن العالمي
وقت التسليم: 7-21 أيام عمل
شروط الدفع: L/C, T/T, ويسترن يونيون
القدرة على العرض: 200 مجموعات شهريا
اتصل
مفصلة وصف المنتج
أقصى درجة حرارة: 1200 ℃ فراغ طبيعي: -0.1Mpa
ماكس فراغ: مضخة جزيئية التكوين ، فراغ 7x10-4 باسكال (اختياري) شفة: 304 الفولاذ المقاوم للصدأ شفة الختم
حماية من الحرارة الزائدة: إيقاف التشغيل التلقائي عندما تتجاوز درجة الحرارة القيمة المحددة المسموح بها حماية سلامة: يتم إيقاف التشغيل تلقائيًا عند تسرب جسم الفرن
هيكل الفرن: مروحة تبريد مزدوجة فولاذية مزدوجة الطبقة ، درجة حرارة السطح أقل من 50 ℃ معدل التدفئة القصوى: 20 درجة مئوية / دقيقة
دقة درجة الحرارة: ± 1 ℃ توحيد درجة الحرارة: ± 5 ℃
التحكم في درجة الحرارة: 50 شريحة قابلة للبرمجة والتحكم الآلي أنبوب الفرن: أنبوب كوارتز
تطبيق: البلازما المحسنة LPCVD
تسليط الضوء:

فرن الأنبوب الدوار

,

فرن أنبوب الكوارتز

1200 Furn فرن LPCVD المحسن بالبلازما مع مضخة تفريغ
 
مقدمة ذكية LPCVD:
PECVD system is designed to decrease the reaction temperature of traditional CVD. تم تصميم نظام PECVD لتقليل درجة حرارة تفاعل CVD التقليدي. It installed RF induction equipment in front of traditional CVD to ionize reacting gas, so the plasma is generated. قامت بتركيب معدات الحث RF أمام CVD التقليدية لتأين غاز التفاعل ، وبالتالي يتم إنتاج البلازما. Plasma's high activity is Reaction is accelerated due to the high activity of plasma. نشاط البلازما العالي هو رد الفعل المتسارع بسبب النشاط العالي للبلازما. So, this system is called PECVD. لذلك ، يسمى هذا النظام PECVD.
This model is the newest product, it synthesized the advantages of most tube PECVD systems, and added a pre-heating zone in the front of the PECVD system. هذا النموذج هو أحدث منتج ، حيث قام بتجميع مزايا معظم أنظمة PECVD الأنبوبية ، وأضاف منطقة تسخين مسبق في مقدمة نظام PECVD. Tests showed that the deposition speed is quicker, the film quality is better, holes are less, and won't crack. أظهرت الاختبارات أن سرعة الترسيب أسرع ، وجودة الفيلم أفضل ، والثقوب أقل ، ولن تتكسر. AISO fully automatic intelligent control system is independently designed by our company, it is more convenient to operate and its function is more powerful. تم تصميم نظام التحكم الذكي الأوتوماتيكي بالكامل AISO بشكل مستقل من قبل شركتنا ، وهو أكثر ملاءمة للعمل ووظيفته أكثر قوة.
Wide application range: metal film, ceramic film, composite film, the continuous growth of various films. نطاق تطبيق واسع: فيلم معدني ، فيلم خزفي ، فيلم مركب ، النمو المستمر للأفلام المختلفة. Easy to increase function, can expand plasma cleaning etch and other functions من السهل زيادة الوظيفة ، يمكن توسيع حفر تنظيف البلازما وغيرها من الوظائف
 
 
الميزة الأساسية:

  • ارتفاع معدل ترسب الفيلم: تقنية التوهج RF ، مما يزيد بشكل كبير من معدل ترسب الفيلم ، يمكن أن يصل معدل الترسيب إلى 10Å / S
     
  • تجانس عالي للمنطقة: تجعل تقنية التغذية اللاسلكية المتقدمة متعددة النقاط ، وتوزيع مسار الغاز الخاص ، وتكنولوجيا التدفئة ، وما إلى ذلك ، يصل مؤشر توحيد الفيلم إلى 8٪
     
  • الاتساق العالي: باستخدام مفهوم التصميم المتقدم لصناعة أشباه الموصلات ، يكون الانحراف بين ركائز ترسيب واحد أقل من 2 ٪
     
  • استقرار عالي للعملية: تضمن المعدات عالية الاستقرار عملية مستمرة ومستقرة


 
قطع الغيار القياسية:

  • توصيل أنبوب 4 قطع
  • أنبوب الفرن 1 قطعة
  • مضخة فراغ 1 قطعة
  • شفة ختم فراغ مجموعتين
  • مقياس فراغ 1 قطعة
  • توصيل الغاز ومضخة التفريغ
  • معدات البلازما RF

 
قطع الغيار الاختيارية:
 

  • شفة الإفراج السريع ، شفة ثلاثية
  • 7 بوصة عالية الدقة تعمل باللمس

 
 
 
مختبر PECVD انقسام أنبوب الفرن المواصفات القياسية:
 

1. نظام التدفئة
درجة الحرارة القصوى 1200 ℃ (ساعة واحدة)
درجة حرارة العمل ≤1100 ℃
حجم الغرفة Φ100 * 1650mm (أنبوب diamater قابل للتخصيص)
مواد الغرفة لوح ألياف ألومينا عالي النقاء
المزدوجات الحرارية نوع K
درجة حرارة معتدلة ± 1 ℃
التحكم في درجة الحرارة

● 50 قطعة قابلة للبرمجة للتحكم الدقيق في معدل التسخين ومعدل التبريد ووقت البقاء.

● المدمج في وظيفة ضبط PID السيارات مع ارتفاع درجة الحرارة وكسر الحماية الحرارية المكسورة.

● نظام التحكم الآلي PLC بواسطة جهاز تحكم PC داخل.

● يمكن التحكم في نظام التحكم في درجة الحرارة ، ونظام انزلاق (الوقت والمسافة) عن طريق البرنامج.

طول التسخين 440 مم
طول تسخين ثابت 200 ملم
عنصر التسخين سلك المقاومة
مزود الطاقة مرحلة واحدة ، 220 فولت ، 50 هرتز
القوة المصنفة 9 كيلو واط
2. مصدر البلازما RF
تردد RF 13.56 ميجاهرتز ± 0.005٪
انتاج الطاقة 500 واط
تعكس قوة ماكس 500 واط
واجهة خرج RF 50 Ω ، N- نوع ، أنثى
استقرار الطاقة ± 0.1٪
مكون توافقي ≤-50 ديسيبل
التيار الكهربائي / التردد مرحلة واحدة AC220V 50 / 60HZ
الكفاءة الكاملة > = 70٪
عامل القوى > = 90٪
طريقة التبريد الهواء القسري
3. نظام التحكم بثلاثة مقاييس كتلة تدفق دقيقة
البعد الخارجي 600x600x650 مم
نوع الموصل Swagelok SS المشترك
النطاق القياسي (N2) 0 ~ 100sccm أو 0 ~ 200sccm أو قابلة للتخصيص
صحة ± 1.5٪
خطي ± 0.5 ~ 1.5٪
التكرار ± 0.2٪
وقت الاستجابة

خاصية الغاز: 1 ~ 4 ثانية ؛
الملكية الكهربائية: 10 ثانية

نطاق الضغط 0.1 ~ 0.5 ميجا باسكال
أقصى ضغط 3MPa
واجهه المستخدم Φ6،1 / 4 "
عرض 4 أرقام عرض
درجة الحرارة المحيطة 5 ~ 45 غاز عالي النقاء
مقياس الضغط -0.1 ~ 0.15 ميجا باسكال ، 0.01 ميجا باسكال / وحدة
صمام التوقف Φ6
أنبوب SS البولندي Φ6
وشملت نظام فراغ منخفض
 

 
لماذا فرن الأنبوب المقسم PECVD من Brother's Lab؟

  • الشركة المصنعة مع خبرة 10+ سنوات
  • أفضل جودة
  • تصميم حسب الطلب
  • العمال ذوي الخبرة
  • مصنع كبير


يختارنا العملاء من أكثر من 30 دولة

  • راضية جيقدم الزبائن دليلا على أووr الالتزام بالتصميم الممتاز والجودة وكفاءة التكلفة.


أفضل خدمة ، استجابة سريعة

  • تصميم مجاني لفرن خاص
  • دعم فني مجاني مدى الحياة
  • اختبار عينة مجانية

 
إذا كنت مهتما لدينا 1200 Furn فرن LPCVD المحسن بالبلازما مع مضخة تفريغ، اتصل بنا الآن للحصول على عرض أسعار!

تفاصيل الاتصال
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

اتصل شخص: li

الهاتف :: +8613526693072

إرسال استفسارك مباشرة لنا
منتجات أخرى
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd
بناء 10 ، جامعة خنان الوطنية للعلوم والتكنولوجيا بارك ، تشنغتشو ، الصين.
الهاتف ::86-371-67973830
Mobile Site Privacy Policy الصين نوعية جيدة معمل دثر الفرن المزود. © 2019 - 2022 muffle-furnace.com. All Rights Reserved.