الهاتف ::
الصين معمل دثر الفرن الصانع
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

     نحن السيطرة على الحرارة! | 200 ~ 2200

منزل المنتجاتمختبر أنبوب الفرن

ارتفاع درجة حرارة مختبر PECVD تقسيم أنبوب الفرن مع أنبوب الكوارتز

ارتفاع درجة حرارة مختبر PECVD تقسيم أنبوب الفرن مع أنبوب الكوارتز

High Temperture Lab PECVD split tube furnace with quartz tube

تفاصيل المنتج:

مكان المنشأ: الصين
اسم العلامة التجارية: Brother Furnace
إصدار الشهادات: CE
رقم الموديل: BR-PECVD

شروط الدفع والشحن:

الحد الأدنى لكمية: 1 مجموعة
الأسعار: Negotiation
تفاصيل التغليف: صندوق خشبي قوي للشحن العالمي
وقت التسليم: 7-21 أيام عمل
شروط الدفع: L/C, T/T, ويسترن يونيون
القدرة على العرض: 200 مجموعات شهريا
ﺎﺘﺼﻟ ﺍﻶﻧ
مفصلة وصف المنتج
درجة حرارة max: 1200℃ فراغ عادي: -0.1MPa
ماكس فراغ: مضخة التكوين الجزيئي ، فراغ 7x10-4 باسكال (اختياري) شفة: 304 الفولاذ المقاوم للصدأ ختم شفة
حماية درجة الحرارة الزائدة: انقطاع التيار الكهربائي التلقائي عندما تتجاوز درجة الحرارة القيمة المحددة المسموح بها حماية سلامة: قم بإيقاف التشغيل تلقائيًا عند تسرب جسم الفرن
هيكل الفرن: طبقة مزدوجة مروحة التبريد المزدوج الصلب ، درجة حرارة السطح أقل من 50 ℃ ماكس معدل التدفئة: 20 درجة مئوية / دقيقة
درجة حرارة دقة: ±1℃ درجة حرارة إنتظام: ±5℃
درجة حرارة تحكم: 50 شرائح قابلة للبرمجة والتحكم التلقائي أنبوب الفرن: أنبوب الكوارتز
تطبيق: مختبر PECVD تقسيم أنبوب الفرن مع أنبوب الكوارتز

ارتفاع درجة حرارة مختبر PECVD تقسيم أنبوب الفرن مع أنبوب الكوارتز

ذكي PECVD مقدمة:
تم تصميم نظام PECVD لخفض درجة حرارة رد فعل الأمراض القلبية الوعائية التقليدية. قامت بتركيب معدات الحث RF أمام CVD التقليدية لتأين الغاز المتفاعل ، لذلك يتم توليد البلازما. نشاط البلازما العالي هو تسارع التفاعل بسبب النشاط العالي للبلازما. لذلك ، يسمى هذا النظام PECVD.
هذا النموذج هو أحدث منتج ، حيث قام بتجميع مزايا معظم أنظمة PECVD للأنابيب ، وأضيف منطقة تسخين مسبق في مقدمة نظام PECVD. أوضحت الاختبارات أن سرعة الترسب أسرع وأن جودة الفيلم أفضل وأن الثقوب أقل ولن تتصدع. تم تصميم نظام التحكم الذكي الأوتوماتيكي بالكامل AISO بشكل مستقل من قبل شركتنا ، وهو أكثر ملاءمة للعمل ووظائفه أكثر قوة.
مجموعة واسعة من التطبيقات: فيلم معدني ، فيلم السيراميك ، فيلم مركب ، النمو المستمر لمختلف الأفلام. سهلة لزيادة وظيفة ، ويمكن توسيع حفر تنظيف البلازما وغيرها من المهام


الميزة الأساسية:

  • ارتفاع معدل ترسب الفيلم: تكنولوجيا توهج RF ، زيادة كبيرة في معدل ترسب الفيلم ، يمكن أن يصل معدل ترسب 10Å / S
  • التوحيد العالي للمنطقة: إن تقنية التغذية RF متعددة النقاط المتقدمة ، وتوزيع مسار الغاز الخاص ، وتكنولوجيا التدفئة ، إلخ ، تجعل مؤشر توحيد الأفلام يصل إلى 8٪
  • الاتساق العالي: باستخدام مفهوم التصميم المتقدم لصناعة أشباه الموصلات ، يكون الانحراف بين ركائز ترسب واحد أقل من 2٪
  • ثبات عالي للعمليات: تضمن المعدات عالية الثبات عملية مستمرة ومستقرة




قطع الغيار القياسية:

  • توصيل أنبوب 4 قطع
  • أنبوب الفرن 1 جهاز كمبيوتر
  • مضخة فراغ 1 جهاز كمبيوتر
  • فراغ الختم شفة 2 مجموعات
  • قياس الفراغ 1 جهاز كمبيوتر
  • تسليم الغاز و مضخة فراغ
  • معدات البلازما RF


قطع الغيار الاختيارية:

  • شفة الإفراج السريع ، شفة ثلاثية
  • 7 بوصة HD اللمس حصاة




مختبر PECVD سبليت أنبوب فرن المواصفات القياسية:

1. نظام التدفئة
Max.temperature 1200 ℃ (ساعة واحدة)
درجة حرارة العمل ≤1100 ℃
حجم الغرفة *100 * 1650mm (أنبوب diamater للتخصيص)
غرفة المواد عالية النقاء الألومينا الألياف متنها
المزدوجة الحرارية نوع K
Temperatureaccuracy ± 1 ℃
التحكم في درجة الحرارة

● 50 قطعة قابلة للبرمجة للتحكم الدقيق في معدل التسخين ومعدل التبريد ووقت الانتظار.

● المدمج في وظيفة PID لصناعة السيارات في ضبط مع ارتفاع درجة الحرارة وحماية كسر كسر الحرارية.

● نظام التحكم الآلي PLC بواسطة وحدة تحكم الكمبيوتر في الداخل.

● يمكن التحكم في نظام التحكم في درجة الحرارة ونظام الانزلاق (الوقت والمسافة) عن طريق البرنامج.

طول التدفئة 440MM
طول التسخين المستمر 200MM
عنصر التسخين سلك المقاومة
مزود الطاقة مرحلة واحدة ، 220 فولت ، 50 هرتز
القوة المصنفة 9KW
2. RF مصدر البلازما
تردد الترددات اللاسلكية 13.56 ميجاهرتز ± 0.005٪
انتاج الطاقة 500W
ماكس تعكس السلطة 500W
واجهة الانتاج RF 50 Ω ، N- نوع ، أنثى
قوة الاستقرار ± 0.1٪
عنصر متناسق ≤-50dbc
امدادات التيار الكهربائي / التردد مرحلة واحدة AC220V 50 / 60HZ
كفاءة كاملة > = 70٪
عامل القوى > = 90٪
طريقة التبريد الهواء القسري
3. ثلاثة نظام مراقبة التدفق الكتلي الدقة
البعد الخارجي 600x600x650mm
نوع الموصل سواجيلوك SS المشتركة
مجموعة قياسية (N 2) 0 ~ 100sccm ، 0 ~ 200sccm ، أو للتخصيص
صحة ± 1.5٪
خطي ± 0.5 ~ 1.5٪
التكرار ± 0.2٪
وقت الاستجابة

خاصية الغاز: 1 ~ 4 ثوانى ؛
الممتلكات الكهربائية: 10 ثانية

نطاق الضغط 0.1 ~ 0.5 ميجا باسكال
أقصى ضغط 3MPa
جهة تعامل Φ6،1 / 4 ''
عرض 4 أرقام العرض
درجة الحرارة المحيطة 5 ~ 45 غاز عالي النقاء
مقياس الضغط -0.1 ~ 0.15 ميجا باسكال ، 0.01 ميجا باسكال / وحدة
صمام التوقف Φ6
أنبوب البولندية SS Φ6
وشملت نظام فراغ منخفض


لماذا Brother's Lab PECVD Split Tube فرن؟

  • الصانع مع خبرة 10+ سنوات
  • أفضل جودة
  • تصميم حسب الطلب
  • العمال ذوي الخبرة
  • مصنع كبير


العملاء من أكثر من 30 دولة يختاروننا

  • يقدم العملاء الراضون دليلاً على التزامهم بالتصميم الممتاز والجودة وكفاءة التكلفة.


أفضل خدمة ، استجابة سريعة

  • تصميم مجاني للفرن الخاص
  • الدعم الفني المجاني لمدى الحياة
  • اختبار عينة مجانية


إذا كنت مهتمًا بفرن أنبوب الانقسام عالي الحرارة PECVD Lab الخاص بنا مع أنبوب الكوارتز ، فاتصل بنا الآن للحصول على عرض أسعار!

تفاصيل الاتصال
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd

اتصل شخص: li

إرسال استفسارك مباشرة لنا (0 / 3000)

منتجات أخرى
Zhengzhou Brother Furnace Co.,Ltd
بناء 10 ، جامعة خنان الوطنية للعلوم والتكنولوجيا بارك ، تشنغتشو ، الصين.
الهاتف ::86-371-67973830
Mobile Site Privacy Policy الصين نوعية جيدة Lab Muffle Furnace المزود. Copyright © 2019 - 2020 muffle-furnace.com. All Rights Reserved. Developed by ECER